浮遊粒子は、いつまでも浮遊しているわけではなく、付着しようとします。一旦付着した粒子の再飛散（剥離）は、一般に小さな粒子ほど非常に困難で洗浄などの工程が必要となります。浮遊粒子を付着させないためには、粒子を浮遊させないことが必要です。目視できない、予測が難しいからこそ、浮遊粒子の大きさ、数を測定し管理を行なうことが重要です。

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